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SEM掃描電鏡塊狀樣品如何制備

日期:2024-11-26 09:48:19 瀏覽次數:5

掃描電鏡掃描塊狀樣品的制備方法主要根據樣品的導電性和大小來決定。以下是一個基本的制備流程:

一、樣品準備

選擇樣品:確保樣品的大小適合SEM掃描電鏡的樣品底座尺寸。如果樣品過大,可能需要進行切割或鑲嵌處理。

清洗樣品:使用丙酮、酒精等溶劑對樣品進行清洗,以去除表面的污染物和雜質。必要時,可以使用超聲波清洗器進行清洗,確保樣品表面干凈無雜質。

掃描電鏡.jpg

二、導電處理

導電性判斷:判斷樣品是否導電。如果樣品導電性良好,可以直接進行下一步操作;如果樣品導電性差或不導電,則需要進行鍍膜處理。

鍍膜處理:對于導電性差的樣品,可以使用真空蒸發(fā)鍍膜技術或離子濺射鍍膜技術在樣品表面形成一層導電膜。這層導電膜可以避免樣品在電子束作用下產生電荷堆積,影響圖像質量。

三、固定與安裝

固定樣品:使用導電膠帶將樣品固定在掃描電鏡的樣品底座上。對于較大的樣品,可以使用碳導電膠帶進行固定,并在四周刷上碳膠或銀膠以增加牢固度。

安裝樣品:將固定好的樣品安裝到SEM掃描電鏡的樣品臺上,確保樣品穩(wěn)固且不會在高真空環(huán)境下移動或振動。

四、注意事項

避免損傷樣品:在制備過程中,要盡可能避免對樣品造成損傷,保持其自然形貌狀態(tài)。

保持干燥:樣品B須充分干燥,以避免在掃描電鏡觀察過程中產生圖像漂移或損傷儀器。

防止污染:制備過程中要佩戴干凈無粉手套,使用的工具也要保持清潔,以避免手印、汗液、唾液和微量油脂等污染物對樣品的影響。

通過以上步驟,可以制備出適合SEM掃描電鏡觀察的塊狀樣品。需要注意的是,不同類型的樣品可能需要不同的制備方法和參數調整,因此在實際操作中需要根據具體情況進行靈活處理。