sem掃描電鏡下班或過夜停止工作前盡量做到以下幾點哦：(1) 關(guān)閉高壓電源，因高壓電源易引起電子線路中元器件的擊穿、燒毀，高壓關(guān)閉后既能節(jié)能又能減小設(shè)備的故障率，特別是減小高壓發(fā)生器的故障率。

(2) 取出分析完的試樣后，樣品倉和交換倉全都要立即抽回真空，讓樣品倉盡快回到高真空狀態(tài)，而不要處于低真空或環(huán)境狀態(tài)，這樣不僅可減少對樣品倉和鏡 筒的污染，以及縮短下次做樣時的抽真空時間，也不會使水蒸氣輕易地積聚在機械泵中，導致泵油混濁、質(zhì)量變差、機械泵頻繁維修。

(3) 如果在樣品臺上安裝了熱電效應的冷卻臺，系統(tǒng)處于夜間模式或長期待機時要拆下來。

(4) 拉大物鏡焦距，即增大WD，可減小物鏡的激勵電流，即減少物鏡的發(fā)熱量。

(5) 把行掃描時間選長一點，讓行掃描處在慢掃描狀態(tài)，這樣可減少行掃描發(fā)生器的充/放電次數(shù)。

(6) 選擇大束斑，可減小聚光鏡的激勵電流，即減少聚光鏡的發(fā)熱量。

(7) 選擇高放大倍率，可減小偏轉(zhuǎn)線圈的激勵電流，即減少偏轉(zhuǎn)線圈的發(fā)熱量。

(8) 降低樣品臺的Z軸或讓樣品臺歸零，或回原位，鎖住搖桿或鎖住Z軸，以防止誤觸發(fā)。

(9) 把電鏡退到主界面程序，關(guān)閉顯示屏幕、打印機和無線光電鼠標器等一些暫時不用的外圍輔助設(shè)施電源。

(10) 關(guān)緊氮氣瓶和用于波譜儀的P10氣瓶的閥門，以減少氮氣和P10氣體的泄漏。

(11) ZUI后關(guān)閉實驗室的照明電源和門窗。

當節(jié)日放長假時’除了要做好下班和過夜停止工作時所提到的注意事項外，還要以下幾點。

(1)鎢燈絲電鏡在周末和放長假時可整機關(guān)閉，要用時再提前半小時開機，這樣既安全又節(jié)能、降耗。

(2) 若是配置油擴散泵的電鏡，則在關(guān)閉主機后，應再延長35min以上再關(guān)閉 冷卻水源。若沒有自動延時裝置，則應人為地延長35min之后再關(guān)閉冷卻水源，讓 ODP中的油、物鏡線圈和高壓部件都能得到充分冷卻，同時還可減少油蒸氣對樣品倉的污染和減緩泵油的氧化。

(3) 對于配置分子泵的電鏡，在關(guān)閉主機后也應延長15min以上再關(guān)閉冷卻水源。

(4) 對于場發(fā)射電鏡，建議周末不要關(guān)機，如果放長假可考慮讓電鏡處在“stand by”狀態(tài)，即只保留IGP工作，維持其電子槍的真空度，關(guān)閉其他電源，要用時提前半小時重新啟動。