光闌是Z接近電子束和磁透鏡磁場(chǎng)的零件，而且光闌還是之電子槍室和樣品室間Z小的通道。掃描電鏡的真空中的主要污染物碳?xì)浠?，?huì)沉寂在光路零件表面，形成不導(dǎo)電層，累計(jì)靜電荷，形成靜電場(chǎng)和雜散磁場(chǎng)，從而影響電磁透鏡磁場(chǎng)的Z小對(duì)稱性，增加電磁透鏡的象散，尤其物鏡光闌的污染，對(duì)性能影響Z大。電子束變?yōu)闄E圓，增加了Z小束斑尺寸，降低了電子光學(xué)分辨性能，在掃描作用下，過(guò)聚焦和欠聚焦時(shí)表現(xiàn)為圖像向垂直方向拉長(zhǎng)。消象散器可以在一定范圍內(nèi)，修正光闌污染。污染造成的象散超過(guò)修正能力，需要對(duì)清除零件表面的污染。

SEM掃描電鏡的耗材當(dāng)中，除了燈絲以外，光闌是Z貴的耗材。而且我們知道，影響光闌壽命的Z主要原因是灼燒，以及在灼燒過(guò)程中由于操作失誤造成的損壞。因此為了更好的維護(hù)掃描電鏡，盡可能的減少SEM掃描電鏡真空污染，是日常工作中要非常注意的事情。同時(shí)，在選購(gòu)掃描電鏡時(shí)，選擇渦輪分子泵真空系統(tǒng)，也是一種明智選擇。