SEM掃描電鏡對磁性樣品的掃描需要注意一些特殊的問題。下面是對于磁性樣品掃描的幾點建議：

準(zhǔn)備磁性樣品時應(yīng)盡量避免使用磁性工具，避免對樣品磁性的影響。

在掃描前，應(yīng)使用磁場消磁器對磁性樣品進行去磁處理，以降低樣品表面的磁性干擾信號。需要注意的是，消磁強度應(yīng)根據(jù)樣品的不同磁性特性來調(diào)整。

在掃描過程中，應(yīng)選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷汉吞綔y器，并減少樣品燒傷和電荷積累現(xiàn)象。

掃描電鏡掃描磁性樣品時，電子束的熱效應(yīng)可能會導(dǎo)致樣品表面的磁性變化。為了避免這種影響，應(yīng)使用低電流密度的電子束，同時控制掃描時間，盡可能縮短掃描時間。

為了保護SEM掃描電鏡的零件不受磁化，應(yīng)在樣品掃描過程中使用非磁性的夾具和支撐物。

掃描磁性樣品時需要注意的主要問題是消除磁性干擾信號和減少樣品表面燒傷、電荷積累等影響，同時保護掃描電鏡不受磁化影響。