掃描電鏡的全稱是掃描電子顯微鏡，它可以用來觀察被檢測物體的細微之處、成像，這一點和顯微鏡有相似之處。SEM掃描電鏡是通過電子束掃描被檢測物品的表面進而產(chǎn)生被檢測物品表面的圖像。

掃描電鏡有一個電子發(fā)射槍，從槍中會發(fā)射出加速、聚焦過的電子，在用這些電子來撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會產(chǎn)生如同水波一般的信號，另一個接收器會用來接收這些信號。這些信號有許多不同的種類，不同的信號有不同的用途，可以對樣品多個方面的表現(xiàn)進行檢測。因此，SEM掃描電鏡除了可以成像外，還可以用來分析樣品的成分形貌，對樣品的元素進行分析。

掃描電鏡的分辨率比顯微鏡的分辨率高得多，能夠?qū)⑽锲贩糯?/span>20萬倍。SEM掃描電鏡的視野廣闊，其形成的圖像有很強的立體感，可以觀察到凹凸不平的細微結(jié)構(gòu)。

目前研制出的掃描電鏡種類有很多，按照結(jié)構(gòu)和用途進行劃分的話大概有6種，其中包括常見的典型掃描電鏡、還有掃描透射電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、冷凍掃描電鏡、掃描隧道電鏡、原子力顯微鏡等。

隨著科技的不斷發(fā)展，掃描電鏡的研制技術(shù)也在不斷進步，越來越多的人了解到SEM掃描電鏡，其已經(jīng)從高等級的研究發(fā)展變成了被廣泛使用的測試手段，應用范圍涉及到各行各業(yè)，其中包括生命科學、材料科學、食品科學、化學、電子學等學科，還運用到了陶瓷行業(yè)、化工行業(yè)、半導體行業(yè)等生產(chǎn)部門。

掃描電鏡功能強大，在使用時要仔細按照使用方法操作，要牢記使用注意事項：

1、 SEM掃描電鏡的樣本B須要很薄，樣品太厚在圖像中會顯得比較暗，圖像對比不明顯，成像立體感就不會很強。

2、 掃描電鏡不顯示圖像時，先要檢查高真空指示燈是否亮，真空正常時再去判斷顯示和放大電路是否正常，再接著檢查光電倍增管，如果都是正常的，就只需要檢查和鏡筒有關(guān)電路即可。

3、 倍率偏移情況出現(xiàn)時，容易帶來圖像的不穩(wěn)定，發(fā)生此項故障大都是電氣線路上的問題，對此進行排查處理即可。

4、SEM掃描電鏡對被檢測樣品的處理要求比較嚴格：被檢測樣品一定要有干凈的表面；被檢測樣品整體B須徹底干燥；標記物品的標記物一定要有形狀以便識別。

掃描電鏡的使用過程雖然比較繁瑣，并且在使用過程中由于使用器件質(zhì)量的差異、環(huán)境的異同等可能會產(chǎn)生許多故障，但只要按照使用方法進行分析，能夠比較快地進行處理。